99.999%氧化钇喷粉 · 球形化 · 半导体级
氧化钇系列
产品概述
作为专业的氧化钇供应商，我们提供99.999%超高纯度氧化钇喷粉，专为半导体刻蚀设备和高端真空腔体设计。平均粒径精确控制在30μm，氧含量21.26%，杂质控制严格，Fe<10ppm、Si<20ppm、其他金属杂质总和<50ppm。采用特殊球形化工艺处理，球形度≥98%，流动性优异，松装密度1.6-1.8g/cm³，适用于大气等离子喷涂(APS)和真空等离子喷涂(VPS)工艺。产品通过ISO9001质量体系认证，可提供第三方检测报告，交期仅需3天，支持1公斤样品申请，完全满足半导体级应用需求。
📞 咨询热线：15962635247（张经理）
📧 邮箱：lizhaodong01@163.com
| 检测项目 | 规格指标 |
|---|---|
| 主要成分 | Y₂O₃≥99.999% |
| 平均粒径 | 30μm |
| 适用工艺 | 等离子喷涂 |
| 包装规格 | 25kg/桶 |
| 储存条件 | 阴凉干燥处 |
| 保质期 | 12个月 |
| Y₂O₃含量 | ≥99.999% |
| 球形度 | ≥98% |
| 杂质总和 | <50ppm |
| 交期 | 3天 |
* 以上为产品规格指标，实际每批次指标以随货 COA 检测报告为准。
半导体腔体防护涂层，提高设备耐腐蚀性
静电卡盘表面处理，优化晶圆加工环境
刻蚀机内部组件防护，减少微污染
真空设备零部件涂层，延长维护周期
电子元件绝缘层，保障电路安全
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产品详情
99.999%高纯度氧化钇喷粉是昆山照动贸易有限公司专业供应的高性能氧化钇(Y₂O₃)材料产品。作为稀土氧化物中的重要品种，氧化钇因其优异的抗等离子体侵蚀性能和高温稳定性，成为半导体装备防护涂层和热喷涂领域的关键材料。
该产品专为半导体刻蚀机腔体、航空发动机等高端应用场景设计，具有高纯度、球形颗粒结构、流动性好等特点。昆山照动贸易作为专业氧化钇喷粉厂家，产品经多家半导体企业验证认可，支持样品测试，交期仅需3天。
核心特性详解
高纯度保障
主成分Y₂O₃纯度达到99.5%以上，杂质含量极低，从源头杜绝金属污染，确保涂层品质。
优异的抗等离子侵蚀性
在高能等离子体环境中长时间保持稳定，有效保护腔体基材免受侵蚀，延长设备维护周期。
良好的喷涂工艺性
球形团聚结构，流动性优异，送粉稳定，适合APS和VPS等多种等离子喷涂工艺。
应用场景详解
- 半导体刻蚀机腔体防护涂层
- CVD/PVD设备内衬涂层
- 静电卡盘表面处理
- 航空发动机热障涂层
- 真空设备零部件防护
常见问题
Q1: 99.999%高纯度氧化钇喷粉的最小起订量是多少？
A: 我们支持小批量订购，最低起订量1kg，支持样品测试。
Q2: 交货周期多久？
A: 常规规格产品3-7个工作日发货，定制产品另议。
Q3: 是否提供检测报告？
A: 每批次产品均附COA分析报告，可提供第三方SGS检测报告。
如需了解99.999%高纯度氧化钇喷粉的详细技术参数、价格报价或申请样品测试，请联系我们的技术团队。电话：15962635247（张经理），邮箱：lizhaodong01@163.com。昆山照动贸易——专业氧化钇喷粉厂家，为您提供稳定可靠的陶瓷材料解决方案。
等离子枪型：F4
工作气体：Ar 42 SLPM，H₂ 11 SLPM
喷涂电流：550A
喷涂距离：120mm